【摘 要】
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空气弹簧隔振系统应用于超精密加工设备，其姿态倾斜将为超精密加工引入误差。针对超精密机床采用气浮导轨、气浮主轴刚度相对液压主轴较低、抵抗空气弹簧的倾斜能力较差的特点
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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空气弹簧隔振系统应用于超精密加工设备，其姿态倾斜将为超精密加工引入误差。针对超精密机床采用气浮导轨、气浮主轴刚度相对液压主轴较低、抵抗空气弹簧的倾斜能力较差的特点，建立机床倾斜的数学模型，分析倾斜对加工精度的影响，得到系统需要的调平精度。根据计算的衫放气量，设计调平控制系统控制四点支撑空气弹簧系统中的三点，保持机床的水平复位精度达到±0．02mm以内。该调平控制系统可以根据气浮导轨运动速度，实现空气弹簧隔振系统的主动控制。
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