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对双原子分子Ｏ２与非重构Ｓｉ（１００）表面相互作用的ＬＥＰＳ半经验势模型进行了研究，其中表面作为具有波纹度的刚性表面进行处理。确立了系统的势能超曲面，得到的表面吸附特性Ｐ、Ｖ、Ｓｍｉｔｈ等人基于ＡＳＥＤ－ＭＯ方法的研究结果进行了定量对比分析。对不同入射条件下的分子－表面相互作用势也进行了研究。
O2／Si（100）非重构表面LEPS相互作用势模型
【摘 要】
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对双原子分子Ｏ２与非重构Ｓｉ（１００）表面相互作用的ＬＥＰＳ半经验势模型进行了研究，其中表面作为具有波纹度的刚性表面进行处理。确立了系统的势能超曲面，得到的表面吸附特性Ｐ、Ｖ、Ｓｍｉｔｈ等人基于ＡＳＥＤ－ＭＯ方法的研究
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年3期
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