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【摘 要】
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SOI(SiliconOnInsulator)器件中氧化埋层的隔离作用带来的浮体效应,将显著地影响器件的性能。本文阐述了浮体效应产生的原因以及它对SOI器件和电路的影响,并从体接触和工艺角
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,中国兵器工业第二一四研究所 上海200050,上海200050,蚌埠23
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2002年03期
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