【摘 要】
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在ZnO发光材料中存在的各种结构缺陷是制约ZnO发光性能的一个关键因素。本文总结了ZnO薄膜材料中可能存在的缺陷类型，并就点缺陷的性质及其对发光性能影响的研究现状做了重点
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在ZnO发光材料中存在的各种结构缺陷是制约ZnO发光性能的一个关键因素。本文总结了ZnO薄膜材料中可能存在的缺陷类型，并就点缺陷的性质及其对发光性能影响的研究现状做了重点评述。对ZnO薄膜发光光谱常见的三个发光带，即紫外、绿光和黄光而言，紫外发光普遍被认为是带．带直接辐射复合发光或激子发光；而对可见光，尤其是绿光的发光机理却有着不同的说法，人们早期认为是铜杂质，近年来普遍认为是氧空位、锌空位等点缺陷所致，确切机理仍有争论。此外，点缺陷作为非辐射中心对ZnO薄膜的发光寿命有一定的影响。
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