【摘 要】
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本工作用电子回旋共振(ECR)等离子体溅射方法,选取各种不同结构的纯金属圆筒靶材料:Ti(hcp),Au(fcc),cu(fcc),Mo(bcc),Sn(四面体),在室温基片上沉积出各种金属薄膜,基体为玻
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本工作用电子回旋共振(ECR)等离子体溅射方法,选取各种不同结构的纯金属圆筒靶材料:Ti(hcp),Au(fcc),cu(fcc),Mo(bcc),Sn(四面体),在室温基片上沉积出各种金属薄膜,基体为玻璃、NaCI单晶.用XRD的物相分析与线形分析和TEM形貌观察与电子衍射,确定了Ti、Au、Cu薄膜都是纳米晶粒(a<10nm)组成的fcc结构多晶膜.用TEM的形貌观察与电子衍射确定了Mo、Sn膜为非晶结构的薄膜,Mo膜的非晶结构比较稳定,sn膜的非晶结构很不稳定,在TEM的电子束照射下迅速晶化并
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