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对视窗被广泛应用于真空镀膜设备视窗失效的情况分析,找到视窗失效的主要原因是,视窗吸附并沉积的镀膜材料越来越多,导致透光率越来越低,造成光电传感器无法正常工作,提出了一种改进方案并应用于实践,取得了显著的改善效果。
应用于真空镀膜设备的视窗失效分析及改进方案
【摘 要】
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对视窗被广泛应用于真空镀膜设备视窗失效的情况分析,找到视窗失效的主要原因是,视窗吸附并沉积的镀膜材料越来越多,导致透光率越来越低,造成光电传感器无法正常工作,提出了
【机 构】
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三一海洋重工有限公司
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2021年1期
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