【摘 要】
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利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度（450～550℃）在石英衬底上制备出一系列ZnMgO薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和光致发光谱（PL）表征了样品的晶体结构、表面形貌
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利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度（450～550℃）在石英衬底上制备出一系列ZnMgO薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和光致发光谱（PL）表征了样品的晶体结构、表面形貌和光学性能。结果表明衬底温度对薄膜结构性能和光学特性影响显著。所有薄膜都呈六角纤锌矿多晶结构,其中在530℃条件下制备的样品C轴择优最明显,晶粒尺寸均匀,表面形貌平整,结晶质量最好。薄膜的光致发光谱显示随着温度的升高深能级跃迁范围逐渐减小,近紫外带边发光峰逐步出现。衬底温度为530℃时在374.5nm处出现了明
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