不同络合剂对铜布线CMP抛光液性能的影响

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cenyizhon

【摘要】

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【作者】

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刘国瑞刘玉岭栾晓东王辰伟牛新环

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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FA/O螯合剂平坦化稳定性甘氨酸缓蚀剂

【基金项目】

：

国家中长期科技发展规划科技重大专项(2016ZX02301003);河北省自然科学基金资助项目(E2013202247);河北省自然科学基金青年基金资助项目(F2015202267);河北省教育厅科研基金资助项目(QN2014208);天津市自然科学基金资助项目(16JCYBJC16100)

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