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采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象，在简单分析形成原因的基础上，采用分组厚度优化方式调整膜层厚度，从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜。为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法。
时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜
【摘 要】
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采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象，在简单分析形成原因的基础上，采用分组厚度优化方式调整膜层
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2007年4期
【基金项目】
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国家“863”计划资助项目（2001AA312100）,中科院光电集团资助项目（KGCX2-405）.
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