Characteristics and Electrical Properties of SiNx：H Films Fabricated by Plasma-Enhanced Chemical Vap

来源 :中国电子科技：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：smarten

【摘要】

：

S1Nx:H films with different N/Si ratios are synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Composition and structure characteristics are dete

【作者】

：

LING Xu-yu

【机构】

：

CollegeofElectronicsandInformation

【出处】

：

中国电子科技：英文版

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

氮化硅薄膜等离子体电性质沉积作用 silicon nitride films electrical properties I-V measuremen

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S1Nx:H films with different N/Si ratios are synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Composition and structure characteristics are detected by Fourier transform infared spectroscopy (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS

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