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蓝光LED氮化镓晶片主要由超高纯氨（氮源）、有机金属化合物（MO源）和蓝宝石（衬底）三大核心材料,通过MOCVD半导体外延设备生长得到。现有工业主流方法不能把在生长过程中产生大量含氨尾气处理达到国标有组织排放的要求。介绍了三种可达标排放的新型专利MOCVD尾气处理方法：催化转化法,微分吸收法和循环利用法。