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微细的二维Bragg光栅在光信息领域有重要应用，传统的干法或湿法蚀刻在高密度格子制备方面有很大难度，研究合成了具有紫外感光性的含锆溶胶，进一步在硅和石英基板上制备了含锆感光性凝胶薄膜，直接利用这种感光性凝胶薄膜，结合激光干涉技术和热处理过程，可在硅基板或石英基板上制备出反射型或透过型二维Bragg格子光栅，X-射线衍射表明，经过热处理后构成格栅的材料为多晶的四方相ZrO2，这类光栅不含有机物，衍射光符合Bragg条件，格子的周期为1μm，格栅线条或栅孔尺寸约0．5μm．