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谐振梁式硅微惯性器件在地震监测中的应用研究
谐振梁式硅微惯性器件在地震监测中的应用研究
来源 :测试技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gunnie0095
【摘 要】
:
本文分析了国内外地震观测中采用的技术方法和研究现状及前景,综合分析了特殊的环境使用条件和测试过程中信息提取的模型考虑,针对谐振式硅微惯性器件的特点及使用要求,提出
【作 者】
:
刘俊
郝一龙
张文栋
【机 构】
:
北京大学
【出 处】
:
测试技术学报
【发表日期】
:
2004年z3期
【关键词】
:
谐振梁
MEMS
惯性
地震观测
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本文分析了国内外地震观测中采用的技术方法和研究现状及前景,综合分析了特殊的环境使用条件和测试过程中信息提取的模型考虑,针对谐振式硅微惯性器件的特点及使用要求,提出采用谐振式硅微惯性器件组合地震观测仪的思路,并介绍了该方案的构成和功能原理.
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