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采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅-硅键合技术，成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明，该传感器反向击穿电压达到100 V；在加3 V正向电压时，其单个锥尖发射电流为0.2 nA；在25～100g的压力范围内与输出电压呈线性关系，灵敏度为0.1 μA/g。