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阐述了精密光栅分度头测微的基本原理,并根据精密光栅度盘输出讯号的特点,提出采用微控制器联合CPLD的方案来进行精密光栅分度头的数据采集、处理与显示;重点介绍了系统关键部分的软、硬件设计方法.最后给出了该系统的主要性能指标以及实际应用情况;结果表明,该系统技术先进,性能优异,完全可以取代目前传统的精密光栅分度头数据采集装置.