硅的高压氧化

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dancingbug
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文介绍了我们自行设计和制作的不锈钢高压室式的微处理机自动控制的高压氧化炉的外形、结构、参数和氧化膜的性质,并从氧化膜的厚度对时间的关系曲线讨论了高压氧化所遵循的规律. This paper introduces the shape, structure, parameters and properties of the oxide film of a high-pressure oxidation furnace which is controlled by a stainless steel high-pressure chamber type micro-processor which is self-designed and manufactured by our company. In addition, the relationship between high pressure oxidation Followed by the law.
其他文献
《非诚勿扰》诚吗?  冯小刚说,一开始他就跟演员说得特别清楚,“这电影就拍一个赏心悦目,拍一个好玩。”没悲欢离合,没忧国忧民,“就做一个比较纯粹的,没有那么多杂念的”。因为电影再复杂也复杂不过生活,观众来电影院,是为了放松,而不是找深刻。  当然说不上深刻,可惜也算不得纯粹。看过电影《征婚启事》的观众,难免觉得前半部似曾相识。恭喜你答对了。那部影片的导演陈国富,正是这部影片的监制以及“故事”。  
翻看老电影,不外乎两种人:出于对某位导演的迷恋而去翻看他的旧作,或者是那种口味与常人迥异的怪胎们。不管是哪一种,似乎都耐得住寂寞——跟你看同样电影的人群也许并不很大
上世纪中叶以来,特别是90年代以来,世界上许多国家政府和专家学者,对文化在经济社会发展和政治文明建设中的作用愈来愈给予高度关注,并将其与经济社会可持续发展和国家的综合
本文提出了一种新的网络综合方法。该方法解决了单端接RC负载和一端接RC负载,另一端接RL负载的RC双端口网络的实现问题。 This paper presents a new method of network syn
期刊
1普通氧传感器的缺陷普通氧传感器一般有4根线,其中2根是加热线,第3根是信号线,另1根是接地线。它是在陶瓷体两侧附着二氧化锆涂层,在350℃或更高的温度下能传导 1 common o
就地冷再生是一种新的公路维修养护的先进技术,具有环保、节约投资、施工周期短,交通干扰低,对天气依赖程度低等优势。就地冷再生施工工艺主要包括以下几个工序,即准备旧路面
2009年12月10日清晨,新疆轮台县哈尔巴克乡白雪纷飞,寒风凛冽,天气分外的寒冷。但恶劣的天气阻挡不住当地群众的脚步,听到哈尔巴克乡九年一贯制学校校长尼 Early December 1
高中政治在很多人看来是枯燥和乏味的,政治教学中,学生被动学习,学习积极性不强的现象也比较普遍。如何提升高中政治教学的效果,在教学中营造和谐氛围,变简单说教为生动讲解,变学生
能源动力总厂进入股份公司后,燃气厂党政领导围绕重组整合改革发展的要求,组织全厂职工广泛开展“融入股份,解放思想,深化改革,科学管理,构建和谐燃气”的大讨论,查找思想认