为对电液伺服阀死区非线性进行补偿,提出在阀芯位移信号上叠加一高频颤振信号从而减小甚至消除其死区的颤振补偿技术。阐述电液伺服阀死区颤振补偿原理。根据颤振补偿原理求解颤振补偿后的空载流量特性表达式,并对补偿后的空载流量特性的死区进行仿真分析,理论分析表明,随着颤振幅值的增加,死区变小,当颤振幅值的大于死区量时,死区完全消除。对补偿后的空载流量特性的线性度进行理论分析,分析表明,随着颤振幅值的增加,空载流量特性的线性度也提高了。搭建专门的试验平台对所设计的样阀进行试验研究,结果表明,采用颤振补偿技术,当颤振幅值为50%、100%、480%死区量时空载流量特性死区由3.8%分别降为2%、0.4%、0,并且空载流量特性的线性度也得到改善,由4.38%分别提高到4.25%、4.09%、3.56%,试验结果和理论分析是吻合的。为进一步提高空载流量特性的线性度,提出流量特性的线性规划,试验表明,规划后流量特性的线性度得到了明显的改善,并且流量线性规划不受系统压力的影响。