基于短波长紫外激光的光学元件成形

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:llyljl
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1 前言在激光核聚变中需要大量使用大尺寸、高精度的光学元件。例如 ,直径达 6 0~ 10 0cm的反射镜 ,40~ 80 cm量级的聚焦透镜及激光窗片 ,对应于直径 35 cm光束的激光玻璃等 ,均要求以λ/ 6以下的波前像差制作 ,供装置使用。这些光学元件几乎都采用研磨工艺制作 ,尤其是大尺 1 Introduction In the laser fusion requires large use of large-size, high-precision optical components. For example, a mirror with a diameter of 60 to 100 cm, a focusing lens and a laser window of the order of 40 to 80 cm, laser glass corresponding to a beam of 35 cm in diameter and the like all require wavefront aberration of λ / 6 or less Production, installation for use. Almost all of these optical elements are made using a lapping process, especially large ones
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