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Origin软件在“电容-电压法测半导体杂质浓度分布”实验中的应用
Origin软件在“电容-电压法测半导体杂质浓度分布”实验中的应用
来源 :大学物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wh104311
【摘 要】
:
基于电容-电压法(简称C-V法)来测量半导体杂质浓度分布,简单快速且不破坏样品。为更快速、精确求得半导体杂质浓度分布,利用Origin软件绘出样品的C-V曲线、1/C~2-V曲线的线性拟
【作 者】
:
丁格曼
张军朋
【机 构】
:
华南师范大学
【出 处】
:
大学物理实验
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
C-V测量法
ORIGIN
杂质浓度分布
PN结
C-V measurement
Origin
impurity concentration distr
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基于电容-电压法(简称C-V法)来测量半导体杂质浓度分布,简单快速且不破坏样品。为更快速、精确求得半导体杂质浓度分布,利用Origin软件绘出样品的C-V曲线、1/C~2-V曲线的线性拟合,快速求出杂质浓度、自建场及绘制相应的杂质浓度分布曲线。
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