【摘 要】
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采用由金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc 简称MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钛离子对铁进行了离子注入表面改性研究.注入剂量为3×1017 cm-2,引出电压为48 kV,平均
【基金项目】
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国家自然科学基金，江苏省教育厅自然科学基金
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采用由金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc 简称MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钛离子对铁进行了离子注入表面改性研究.注入剂量为3×1017 cm-2,引出电压为48 kV,平均束流密度为47 μA@cm-2.根据试验测得的离子注入层的卢瑟福背散射谱(Rutherford backscattering spectrum ),充分利用铁钛表面谱的能量间隔来计算可分离部分的铁、钛浓度深度分布,进而在一定的近似下,推出背散射谱不可直接分离部分的Ti、Fe的谱高度,最后采用迭代
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