探讨三氯氢硅在空气中燃烧产物

来源 :世界有色金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:badboyker
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多晶硅企业生产过程中,必须考虑到可能的三氯氢硅泄漏燃烧事故。三氯氢硅在空气中燃烧产物的成分是制定人员防护施的依据。
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