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来源 :实用测试技术 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文介绍了一种可以测量射频感应耦合等离子体密度的静电探针方法,并给出了它的测量原理,实验方法和实验结果。实验结果表明:所测等离子体密度反映了等离子体的特性,并且诊断手段
【作 者】
:
曹小明
顾彪
等
【机 构】
:
中科院沈阳金属所,大连理工大学电磁系
【出 处】
:
实用测试技术
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
等离子体诊断
静电探针
等离子体密度
射频感应耦合
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