【摘 要】
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邻近效应是指电子在抗蚀剂和基片中的散射引起图形的改变 ,它严重地影响了图形的分辨率。有多种方法对邻近效应进行修正如剂量调整、图形调整等。我们以JBX 5 0 0 0LS为手段
【机 构】
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邻近效应是指电子在抗蚀剂和基片中的散射引起图形的改变 ,它严重地影响了图形的分辨率。有多种方法对邻近效应进行修正如剂量调整、图形调整等。我们以JBX 5 0 0 0LS为手段 ,用三种方法 :1图形尺寸修正 ,2大小图形分类和剂量分配 ,3图形分层和大小电流混合曝光 ,对邻近效应进行了修正 ,均取得较好效果。
Proximity effect refers to the change of the pattern caused by the scattering of electrons in the resist and the substrate, which seriously affects the resolution of the pattern. There are several ways to correct for proximity effects such as dose adjustments, pattern adjustments, and more. We use JBX5000LS as a means to correct the proximity effect by using three methods: 1, image size correction, 2-size graphic classification and dose distribution, 3 graphic layering, and mixed exposure of size and current, all of which have achieved good results .
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