电容式铜掺杂氧化锌湿度传感器的特性

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liucm001

【摘要】

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【作者】

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叶子孙宁刘伟景

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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电容式湿度传感器纳米棒氧化锌(ZnO) 氧空位 Freundlich模型多层吸附理论

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(11404207,61604002,11647023);上海自然科学基金资助项目(17ZR1411500)

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