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采用蒙特卡罗模拟对氮辉光放电等离子体中轰击阴极的重粒子(N＋２，N＋，Nf及N2f)能量分布随放电参数的变化规律进行了研究。结果表明：阴极壁前诸粒子的能量分布取决于粒子被加速的能量和碰撞频率，能量较低的快原子Nf的密度比高能粒子N＋的密度高近两个量级。在活性氮粒子(N＋，Nf)产率最高的放电条件下，适当降低放电气压，提高阴极位降和气体温度，有利于两种活性氮粒子(N＋，Nf)达到阴极。