微波等离子体刻蚀对WC-Co硬质合金基体金刚石薄膜附着力的影响

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangmingmind

【摘要】

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金刚石薄膜的附着力是影响CVD金刚石涂层刀具切削性合金(YG6)基体上沉积金刚石涂层;用Ar-H2微波等离子对WC-Co衬底进行刻蚀处理,以改变基体表面与金刚石涂层间的界面结构,提

【作者】

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刘学深孙方宏陈明张志明

【机构】

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上海交通大学机械工程学院

【出处】

：

金刚石与磨料磨具工程

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

CVD金刚石涂层微波等离子刻蚀硬质合金金刚石薄膜附着力

【基金项目】

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国家自然科学基金;

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金刚石薄膜的附着力是影响CVD金刚石涂层刀具切削性合金(YG6)基体上沉积金刚石涂层;用Ar-H2微波等离子对WC-Co衬底进行刻蚀处理,以改变基体表面与金刚石涂层间的界面结构,提高金刚石涂层的附着力;采用压痕法评估涂层附着力;借助SEM等观察刻蚀预处理方法对膜基界面的影响,并对此进行分析和讨论.

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