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浅析硅铝靶工艺气体流量对Low-E玻璃钢化前后玻面色差的影响
浅析硅铝靶工艺气体流量对Low-E玻璃钢化前后玻面色差的影响
来源 :建筑玻璃与工业玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bodao
【摘 要】
:
本文通过实验,详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩/氮气比例时,Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化,指出为了生产高质量可钢化Low—E玻璃,在硅铝靶使用不同的溅射
【作 者】
:
郭明
【机 构】
:
金堆城洛阳节能玻璃有限公司
【出 处】
:
建筑玻璃与工业玻璃
【发表日期】
:
2015年8期
【关键词】
:
硅铝靶
工艺气体流量
Low-E玻璃
钢化
玻面色差
溅射功率
Silicon Aluminum target
process gas flow
Low-E
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本文通过实验,详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩/氮气比例时,Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化,指出为了生产高质量可钢化Low—E玻璃,在硅铝靶使用不同的溅射功率时,如何选择最优的工艺气体流量和氩/氮气比例。
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