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本文评述了1983~1993年半导体硅材料、高纯元素、化合物半导体等高纯半导体材料的分析进展。
当代高纯半导体材料分析的进展(一)
【摘 要】
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本文评述了1983~1993年半导体硅材料、高纯元素、化合物半导体等高纯半导体材料的分析进展。
【机 构】
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峨嵋半导体材料研究所峨眉山市614200
【出 处】
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四川有色金属
【发表日期】
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1994年02期
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