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研究了电荷注入检测器ICP光谱仪测定非金属元素的分析性能.以S、P、As、Se为代表的非金属元素在170～800nm波段内最灵敏的谱线均处于175～200nm远紫外区内.在此区内等离子体有很低的光谱背景发射和良好的谱线测量和背景测量的光度精度.标准曲线线性动态范围在4个数量级.给出了As、Se、S、P主要分析线的灵敏度、线背比、背景等效浓度及检出限.在纯水溶液中的检出限分别为:As 189.142 nm 0.003 mg/L,P 213.618 nm 0.005 mg/L,S 180.731 nm 0.0