SiGe/Si异质结构的x射线双晶衍射

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a595165933

【摘要】

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通过x射线双晶衍射图形讨论了SiGe/SiHBT的电学特性与晶格结构的关系 The relationship between the electrical properties and the lattice structure of SiGe / SiHBT wa

【作者】

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邹德恕徐晨罗辑魏欢董欣周静杜金玉高国陈建新沈光地王玉田

【机构】

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北京工业大学电子工程系!北京100022,北京工业大学电子工程系!北京100022,北京工业大学电子工程系!北京100022,北京工业大学电子工程系!北京100022,北京工业大学电子工程系!北京10

【出处】

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半导体技术

【发表日期】

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2000年01期

【关键词】

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SiGe/Si x射线双晶衍射光程差弛豫

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通过x射线双晶衍射图形讨论了SiGe/SiHBT的电学特性与晶格结构的关系 The relationship between the electrical properties and the lattice structure of SiGe / SiHBT was discussed by the x-ray double crystal diffraction pattern

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