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本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇（Y）对CrAlTiN薄膜结合强度的影响。并应用原子力显微镜（AFM）、能谱仪（EDS）、纳米压入仪、划痕试验仪、激光共焦显微镜（CLSM）对薄膜样品进行了观察与分析。结果表明，CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得Al元素单位时间内沉积量提高，CrAlTiN薄膜晶粒细化，提高其塑性和韧性，减少裂纹倾向，从而提高了CrAlTiN薄膜与基体的结合强度。