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用金属有机气相外延生长了一系列具有不同应变、不同周期以及不同缓冲层的ＩｎＧａＡｓ应变超晶格。用Ｘ射线双晶衍射方法得到了样品的摇摆曲线。结合计算机模拟得到了样品的应变、组分等结构参数。对不同缓冲层的超晶格结构也进行了分析。
X射线双晶衍射研究LP—MOVPE生长的InGaAs／GaAs应变超晶格
【摘 要】
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用金属有机气相外延生长了一系列具有不同应变、不同周期以及不同缓冲层的ＩｎＧａＡｓ应变超晶格。用Ｘ射线双晶衍射方法得到了样品的摇摆曲线。结合计算机模拟得到了样品的应变、组分等结
【机 构】
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兰州大学物理系,吉林大学电子工程系
【出 处】
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兰州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年3期
【基金项目】
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集成光电子国家重点实验室资助
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