InP-based evanescently coupled high-responsivity photodiodes with extremely low dark current density

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In this paper,we have demonstrated a high performance waveguide photodiode integrated diluted waveguide serving as a fibre-to-waveguide coupler to achieve high coupling efficiency.High responsivity (> 1 A/W),high saturation power (> 45 mA) in the static state and extremely low dark current density (0.04 pA/μm 2) with 3 dB bandwidth at 13.4 GHz have been achieved. In this paper, we have demonstrated a high performance waveguide photodiode integrated diluted waveguide serving as a fiber-to-waveguide coupler to achieve high coupling efficiency. High responsivity (> 1 A / W), high saturation power (> 45 mA) in the static state and extremely low dark current density (0.04 pA / μm 2) with 3 dB bandwidth at 13.4 GHz have been achieved.
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