MECHANICS OF RELAXING SiGe ISLANDS ON A VISCOUS GLASS

来源 :力学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sgrsrg

【摘要】

：

A process has been developed recently to fabricate a structure com-prising,from top to bottom,a SiGe thin film,a glass layer,and a Si wafer.TheSiGe film is a pe

【作者】

：

R. Huang H. Yin J. Liang J. C.

【出处】

：

力学学报：英文版

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

SEMICONDUCTOR fabrication stress RELAXATION VISCOUS flow ELASTIC plate FRACTURE

【基金项目】

：

The project supported by NSF (CMS-9820713),DARPA (N66001-00-1-8957),ARO (DAA655-98-1-ff270),New Jersey Science and Technology Commission

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A process has been developed recently to fabricate a structure com-prising,from top to bottom,a SiGe thin film,a glass layer,and a Si wafer.TheSiGe film is a perfect crystal,and is under biaxial compression.The SiGe film ispatterned into islands.On anneal

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