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介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理，设计了一种新型微机械谐振式陀螺，并用有限元方法进行了仿真，制造了一批样机，进行了初步的驱动特性实验。结果表明，该微机械谐振陀螺仪实际驱动模态的谐振频率与仿真值的最大误差小于6％，满足设计要求。
硅微机械谐振式陀螺仪的技术研究
【摘 要】
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介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理，设计了一种新型微机械谐振式陀螺，并用有限元方法进行了仿真，制造了一批样机，进行了初步的驱动特性实验。结果表明，该微机械谐振陀螺仪实际
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2006年10期
【基金项目】
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国家863计划资助项目（2002AA812038）
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