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介绍了用于检测光学度盘的动态光电显微镜的原理、光学系统、电子学系统及瞄准精度。
动态光电显微镜
【摘 要】
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介绍了用于检测光学度盘的动态光电显微镜的原理、光学系统、电子学系统及瞄准精度。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年3期
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