多弧离子渗金属

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作者将多弧离子镀技术发展为多弧离子渗金属技术,充分发挥了阴极电弧源产生的金属弧光等离子体的作用,获得了各种渗金属层和渗镀结合层。本文介绍了多弧离子渗金属原理和各种渗金属层的特征。
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