表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hxz22

【摘要】

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探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计.采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱动电压阈值从100V降到了10V以下.在频率10MHz

【作者】

：

崔喜泉吴兰章海军

【机构】

：

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

【出处】

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光电工程

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

工作机理优化设计表面弹性波马达微执行器纳米技术 Surface acoustic wave motors Micro actuator Nano-tec

【基金项目】

：

国家自然科学基金，教育部优秀青年教师资助计划

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探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计.采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱动电压阈值从100V降到了10V以下.在频率10MHz,峰峰值为10V的正弦电压激励下,获得振动幅度为20nm的表面弹性波,马达的无负载速度达到0.34m/s,最大推动力输出达到0.06N.

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