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通过观察场发射扫描电子显微镜下非导电样品镀膜前后纳米尺度的形貌变化，发现镀膜对样品在几个纳米范围内的形貌有一定的影响和遮盏，分析了使用场发射扫描电镜观察样品高倍数形貌时应注意的问题，并给出了获取真实形貌的方法。
镀膜对FE-SEM纳米尺度形貌观察的影响
【摘 要】
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通过观察场发射扫描电子显微镜下非导电样品镀膜前后纳米尺度的形貌变化，发现镀膜对样品在几个纳米范围内的形貌有一定的影响和遮盏，分析了使用场发射扫描电镜观察样品高倍数形
【机 构】
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中国科学院长春应用化学研究所光谱中心
【出 处】
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分析测试技术与仪器
【发表日期】
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2008年2期
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