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利用磁控溅射法制取了ＭｏＳ２薄膜，通过Ｘ光电子能谱、Ｘ射线衍射和ＡＦＭ／ＦＦＭ方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究。实验结果表明：ＭｏＳ２薄膜表面呈蠕虫状，微观结构为（１００）面平行于基面的非晶态，表面膜由ＭｏＳ２和少量的ＭｏＯ３组成。在微观摩擦磨损过程中，ＭｏＳ２薄膜的摩擦系数较大，且而磨性能高；微摩擦过程中没有磨合阶段，不存在摩擦机理的转变。