LC—2B型中能离子注入机

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：niuniu31

【摘要】

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本文重点介绍了由电子工业部四十八研究所研制的LC—2B中能离子注入机的技术性能和运行情况。 This article focuses on the technical performance and operation of the L

【作者】

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LC—2B机组陈亚光

【机构】

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长沙半导体工艺设备研究所,长沙半导体工艺设备研究所

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

：

1988年01期

【关键词】

：

离子注入机 LC 离子注入技术技术性能电子工业部离子源靶室子注薄层电阻半导体器件

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本文重点介绍了由电子工业部四十八研究所研制的LC—2B中能离子注入机的技术性能和运行情况。 This article focuses on the technical performance and operation of the LC-2B ion implanter developed by 48 Institute of Electronics Industry.

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