超高真空化学气相淀积自组织生长锗量子点

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：boluoqb

【摘要】

：

采用超高真空化学气相淀积系统制备了小尺寸、高密度、纵向自对准的Ge量子点.通过TEM和AFM对埋层和上层量子点的形貌和尺寸分布进行了研究,对生长的温度和时间进行了优化.采

【作者】

：

邓宁张磊黄文韬陈培毅

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

量子点化学气相淀积自对准光测量光荧光自组织生长 PL谱尺寸分布声子蓝移 ultra-high vacuum chemical vapor dep

【基金项目】

：

Key Foundation of National Science of China，面向21世纪教育振兴行动计划(985计划)，中国博士后科学基金

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采用超高真空化学气相淀积系统制备了小尺寸、高密度、纵向自对准的Ge量子点.通过TEM和AFM对埋层和上层量子点的形貌和尺寸分布进行了研究,对生长的温度和时间进行了优化.采用硼预淀积的方法得到了尺寸分布小于300的均匀的圆顶形Ge量子点.采用低温光荧光测量了多层量子点的光学特性.在10 K的PL谱可以观察到明显的蓝移现象,表明量子点中较强的量子限制效应.量子点非声子峰的半高宽约为46 meV,表明采用UHV/CVD工艺生长的多层量子点具有较窄的尺寸分布.

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