基于垂直方向位移扫描的接触式表面形貌仪

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为减小测量误差,设计了基于垂直位移扫描的接触式表面形貌仪。该测量仪以保持杠杆处于平衡位置为测量前提,X_Y向,Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器;X—Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位,Z向电机采用压电陶瓷驱动微定位。总体论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理等内容。测量结果表明该系统有效地提高了测量精度。
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