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本文介绍了短波PIN光电器件的工作原理、离子注入成结的重要性及注入参数选取的理论依据,最后,对所做器件的主要电学参数进行了较详细的讨论.
0.4—1.1μm波段的器件离子注入工艺研究
【摘 要】
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本文介绍了短波PIN光电器件的工作原理、离子注入成结的重要性及注入参数选取的理论依据,最后,对所做器件的主要电学参数进行了较详细的讨论.
【机 构】
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航空航天工业部三院八三五八所
【出 处】
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红外与激光技术
【发表日期】
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1990年4期
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