【摘 要】
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真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,
【机 构】
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北京北仪创新真空技术有限责任公司,
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真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.
The vacuum system is the main component of the vacuum coating equipment, the choice of the main pump has a great impact on the vacuum performance, the vacuum coating equipment development requires vacuum performance clean oil-free, dynamic pumping speed of the traditional oil diffusion pump-based pump Equipment can not meet the requirements, this paper describes the characteristics of oil diffusion pump, molecular pump and cryogenic pump and Beijing North Innovative Vacuum Technology Co., Ltd. to develop a molecular pump and cryogenic pump vacuum system for the main pump coating equipment.
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