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研制了一种用于激光惯性约束聚变研究的衍射光栅。光栅的制作采用离子束刻蚀方法，光栅尺寸为80mm×80mm，工作周期为90μm，对1．053、0．527、0．351μm3种波长的激光束进行谐波分离。利用YLF激光器系统对衍射光栅的性能参数进行测试，结果表明，衍射光栅对波长为0．351μm的三倍频激光束零级衍射效率为79．7％。