Al-AlN选择性吸收涂层性能分析及光学模拟

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研究了双层AI-AIN吸收层加减反射层结构膜系,并对这种结构膜系涂层性能进行分析和模拟,在模拟得到单层AI-AIN层的膜厚和填充因子基础上,工艺优化制备得到的AI-AIN选择性吸收涂层吸收率达到0.942,100℃发射率为0.044,聚光比为1条件下,光热转换效率为0.89。
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