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柴油发动机喷油嘴喷油孔具有孔径小和深宽比高等特征,其几何参数对于保证燃油雾化质量、发动机燃烧效率以及降低污染物排放极其重要。基于石英音叉光纤一体式三维谐振测头,提出了喷油嘴微锥孔测量方法。通过测头在谐振状态下受到微力后谐振参数的改变来实现高精度触发定位,从而对具有设计指标的喷油嘴微锥孔进行测量,得出微锥孔的锥角参数。试验结果验证了该测头在微小元器件精密测量方面的有效性。