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介绍了超声波电源的基本原理和样机系统的组成。针对超声波电源的负载要求响应速度快、精度高等特点，对超声波电源控制方法进行了研究。采用了一种基于TI公司TMS520LF2407型DSP的频率跟踪的控制方法。达到了响应速度快、精度高的目的，研制了基于此控制方法的超声波电源。该系统输出频率范围较宽，对负载的适应性较强，工作可靠性较高。