【摘 要】
：
采用W70Cu30单靶磁控溅射与纯W、纯Cu双靶磁控共溅两种工艺,在多种基材上制备W-Cu薄膜,分析了薄膜的宏观形貌和组织结构。分析结果表明：单靶磁控溅射时,控制靶电压520V,溅射电
论文部分内容阅读
采用W70Cu30单靶磁控溅射与纯W、纯Cu双靶磁控共溅两种工艺,在多种基材上制备W-Cu薄膜,分析了薄膜的宏观形貌和组织结构。分析结果表明：单靶磁控溅射时,控制靶电压520V,溅射电流0.8～1.2A,Ar气流量25mL/min（标准状态）,可在玻璃基体上镀得W-Cu薄膜,但退火时如温度过高,会使W和Cu两种元素原子偏聚加重;双靶磁控溅射时,控制Ar气流量20mL/min（标准状态）,Cu靶电流0.7A,W靶电流1.2A,溅射时间3600s,可在硅基和玻璃基上镀得W-Cu薄膜,但在石墨基体、陶瓷基体及4
其他文献
仪器以直接测长的方式、克服了传统的由齿轮相互搭配间接控制线长和由测转速换算到线长的方法所带来的测量和控制误差.整机设计合理,构造精密,闭环在线测量和控制线长精度优
通过应用激光多普勒测速法对喷水织机上喷水速度的测试,得出了喷水速度在梭口轴心线上的分布及其变化规律.在此基础上对喷水系统结构进行了分析,指出进一步提高喷水速度、增
贵州省夹岩水利枢纽工程水库取水范围较大,为了满足引水质量的要求,实施分层取水。结合工程实际对设置多层取水口和叠梁门的两种分层取水方式进行了比选,最终确定采用布置多
在陶然以爱情为主题的小说中,"乐感文化"退隐而去,"悲剧色彩"彰显出来。细读其作品,会发现其中差不多所有男女互动的爱情故事当中,最终都是以中年男子的悲剧命运而告终的。
12月20B，中国重汽集团有限公司暨中国重汽（香港）有限公司召开2008年商务大会。来自各地的经销改装单位、客户代表、金融投资机构、军方代表、新闻界及俄罗斯、中亚、西亚、东南